IT之家 5 月 12 日新闻，上海人为智能尝试室（上海 AI 尝试室）昨日发文，结合乐山大学、信阳国度尝试室等合作单元基于“书生”科学大模型与“书生”科学发显旖台，构建了“AI 决策 + 自动化合成”的关环研发系统，实现了高纯度、高一致性、高效能的 KrF（氟化氪）光刻胶树脂创造。

官方暗示，这一突破使高端光刻胶树脂的不变造备不再依赖于极少数国表供给商的“黑箱能力”，为全球芯片资料领域索求出一条可尺度化、急剧迭代的新蹊径。有关公司基于光刻胶配方开发经验，实现了树脂适配，产业关键指标均达预期，后续将进入客户端验证阶段。

▲ 光刻胶树脂自动化造备

IT之家获悉，持久以来，高端树脂资料开发受造于“经验驱动”的试错蹊径，科研人员需在数以千计的单体配比、聚合系统及反映前提中进行逐一筛选，这种低密度的尝试范式导致研发周期动辄以月为单元，且极易受报答操作误差影响，难以满足成熟造程对资料批次不变性的严苛要求。

结合团队研发了面向先进资料光刻胶树脂设计的智能化合成平台：选取高度
？榛⑿屑芄，依附多反映器、多工作站协同布局，实现了从液体精准转移、惰性空气；さ蕉嗉蹲远蟠χ玫娜鞒坦鼗吩诵；搭载精密三轴伺服节造与全密封加液技术，从源头躲避因人为操作露出带来的氧气、水汽及金属杂质传染问题，可将制品树脂金属杂质含量不变节造在 10ppb 以下，同时严格把控分子量散布，PDI 指标不变节造在 1.3 以下。

AI 模型天生光刻胶树脂合成尝试规划，经 SCP 和谈转化为自动化平台指令，并在物理尝试室中实现高通量的合成与表征工作；尝试产出的分子量、热不变性等关键数据自动回传 AI 模型，驱动算法优化下一轮规划，实现研发系统自我进化；诖搜，研发团队在光刻胶树脂分子量不变性、Tg 耐热指标等关键领域获得阶段性进展，成功实现从“经验主导”向“数据驱动”的转型，为光刻胶产业突破技术瓶颈提供了全新蹊径。