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靶材真空喷涂生产线的技术焦点及优势
2023-11-28

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我公司专注于高温难熔融质料的真空喷涂技术,突破技术壁垒和难题,自主研发出具有世界先进水平的靶材真空喷涂生产线,我公司生产的靶材,经国家有色金属及电子质料剖析测试中心检测,各项指标均抵达和凌驾世界高端靶材的水平;经海内多家知名镀膜企业使用,反应良好 。我公司靶材真空喷涂生产线和靶材产品具有如下技术焦点与立异点:

一、技术焦点:

1、 我公司接纳了自主研发的超高温、大功率等离子喷涂枪,更为有效的融熔了高温难熔金属、陶瓷粉末质料,焰流速更快,使靶材的晶界结合更致密、晶粒更细 、孔隙更少、密度更高 。

2、 靶材制备历程始终处于“真空”情况,区别于海内所有靶材的大气喷涂制备历程的通例技术,杜绝了气相杂质的爆发,使靶材的身分、纯度获得有效包管 。

3、 在靶材热喷涂制备历程中,等离子枪焰流中科学配注了还原气体,使质料在热熔、冷却历程中具备充分的还原性,包管质料的物化性质不爆发改变 。

4、 接纳密闭循环水冷却控制系统,使靶材在热喷涂历程中,有效控制了靶材的温度,喷涂完成后按设定要求梯度降温,释放了靶材的材质内部应力,消除了客户在溅射制程中的靶材开裂隐患 。

二、立异点

1、 靶材密度更高、晶粒更细、漫衍更混匀、内部孔隙率更少,用户使用历程中消耗均匀、使用寿命同比延长、镀膜膜层越发致密 。

2、 靶材纯度更纯,氧、氮含量更低,包管了靶材材质的纯粹性,使用户的溅射气氛越发可控,确保了膜层的高品质 。

3、 靶材质料内部内应力更小,杜绝了客户在使用升温历程中,靶材的开裂、掉渣、污染溅射真空腔的现象 。

4、 导电率更均匀、更平稳,使客户在溅射镀膜历程中,靶材放电历程越发充分,包管了设备电流、电压的稳定,杜绝了靶材中毒事故,镀膜膜层越发均匀致密 。


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